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By O. Madelung

ISBN-10: 0080172857

ISBN-13: 9780080172859

Advances in strong country Physics

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25. Daraus kann durch Integration die maximale Reichweite im Kanal ermittelt werden. Ein Vergleich mit experimentellen Daten zeigt, daß Gl. 26) die Reichweite in Kanälen um etwa einen Faktor 1,5-2 überschätzt. Der Grund dafür ist, daß Gl. 25) einmal nur die Elektronenwechselwirkung berücksichtigt und zum anderen ein Energieverlust infolge eines Austausches von Elektronen nicht berücksichtigt wird. B. daß R(iio> > R· D i e eingangs erwähnte Feststellung, daß bei einer bestimmten Energie schwere Teilchen eine größere Reichweite besitzen, wird, im Gegensatz zum freien Elektronengas, ebenfalls qualitativ erklärt.

37) ermittelte amorphe Dosis N Da bei einer Energie von 150 keV in Süizium und einer Versetzungsenergie Ed = 14 eV dargestellt. Als Vergleich sind experimentelle Daten eingetragen, die bei einer Targettemperatur von 77 °K mittels He-Rückstreuung ermittelt wurden. Eine gute Übereinstimmung findet man für Teilchen unterschiedlicher Masse, wenn die Stromdichte während der Implantation so gewählt wird, daß die pro sec und cm"3 in Form von Kernwechselwirkung übertragenen Energie konstant gehalten wird.

Die punktierten Kurven geben die jeweiligen Mittelwerte für = R p und D an. 2. 1 experimentell belegt wird. Und zwar beobachtet man bei sog. h. die durch die einzelnen Ionen hervorgerufenen gestörten Bereiche überlappen sich zu einer kontinuierlichen amorphen Schicht, eine starke Zunahme der elektrischen Aktivität der eingebrachten Fremdatome bei einer Temperung von ca. 550 °C. Im Gegensatz dazu erfordern nicht amorph implantierte Schichten erheblich höhere Ausheiltemperaturen (9001000 °C).

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by Anthony
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